1.于ulpa上游侧，测定一次侧之外气或回风浓度，
1．温湿度检验:使用温湿度计测试时，距地板高度约1.2m，用温湿
2．噪音检验:距地板约1.2m，用噪音计于测测试，洁净室检测，测数以
3．不管气流为层流．乱流或混合式流，洁净室检测服务，于工程完成后之状（as
所谓等动力采样就是在检测时，山东洁净室检测，粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致，而且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。因为对净化工程的检测我们主要关心两种粒径，即0.5um和 5um。非等动力采样对于≤0.5um 的粒子影响不大。如果取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度，如果这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。因此，净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有意义。
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