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洁净室检测静电检测

一、测试目的，静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。

二、测试程序，于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，---辐射检测设备，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。

洁净室气流流向检测

一、测试目的

平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，---辐射检测标准，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据。

二、测试方法

一般而言平行度的测量，是由肉眼观察所决定。使用的工具包括烟雾、水雾、pfa 、和轻质棉线。。烟雾或水雾的共同优点是只要粒子够小，烟雾可随风飘扬，可正确的反映气流运动模式。但是其共同问题是滞空性不足，观测时间太短。测量平行度需要花一些时间，因此需要大量烟雾或水雾，对无尘室可能造成污染。另一种方式是使用轻质细线，让细线随风飘舞，然后测量气流平行度。在无尘室内普遍使用新的高分子材料 flo-viz ，是用尼龙---单丝所制成，由于很轻因此适合作无尘室平行度测量。测量平行度的方法是立一根铅垂线，然后在滤网下方施放烟雾或是安放细线，之后观察所施放烟雾与铅垂线的夹角，或是测量细线与铅垂线的夹角，就可决定气流的平行度。

洁净室工作服检测

（1）astm-f-51法(显微镜法)测试探头装有过滤隔膜，---辐射检测，直接连接吸风计量泵，通过的空气量为28l/min。测试时使空气通过试验衣料，将空气中含有的发尘粒子捕到试验用的滤膜上，用400倍显微镜观察并统计尘埃粒子数。读出滤膜上面的0.5-5以及5以上的粒子个数。在滤膜上面印有3.08mm的格子，可以读出一个格子内的粒子数。

（2）astm-f-51修订法(计数法)使空气通过试验衣料，用粒子计数器测定发尘粒子的大小和个数。把试样放置在带金属网的台架上，用采样器(用47mm的过滤器支架代替)接触吸引，通过的空气量为28l/min。

（3）振动法把试样放在小室内，通过振动扭转产生粒子，用粒子计数器测定。同时，---辐射检测报告，对粒径大的粒子(25以上)捕集到滤膜上，读出粒子个数。风量为3.5英尺/分(0.099m/mim)，振动次数为150次/分。

（4）滚桶法(helmke drum test)把试样放入一个侧面开口的旋转的滚桶内旋转，从粒桶内对发尘粒子采样，用粒子计数器测定粒子个数后决定洁净度的级别。旋转滚筒尺寸为43cm×33cm，在桶的内侧有4个叶片，桶的转数为10转/分。

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