⑴空气中悬浮微粒(非生物性及生物性)
⑵空气中悬浮分子玷污物
⑶---
⑷微振
⑸静电
⑹生产工艺介质:高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品等的有关杂质。
洁净技术内容涉及:
⑴洁净室检测技术(工业洁净室、一般生活洁净室及隔离式生物洁净室):包括空气净化、建筑装饰、玷污物发散源的控制以及消除静电和防微振。
⑵高纯工业气体、特种气体、高纯水及高纯化学品的制取、输送及纯化。
⑶有关玷污物的检测及监测。
防止从相邻的洁净度较低的区域向洁净室传播污染的主要方法是:维持高洁净度区域相对于低洁净度区域、低洁净度区域相对于服务区域、服务区域相对于室外有一个合适的正压值。根据不同的情况,洁净室检测报价,不同级别相邻房间的正压值约为1~lpa。让不同洁净度的各级房间维持梯次的压差,目的是当房间的门处于关闭情况时通过缝隙的气流流向是由别洁净室流向低级别洁净室、由低级别洁净室流向走廊和服务区,再流向室外,这样就可减少室外向服
洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口,洁净室检测服务,以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势,与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后,侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险,使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离,也是---措施之一。
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